사례 개요 : 국내 화학회사인 G사는 반도체 Fab.공정에서 사용되는 Chemical을 개발 및 생산하는 회사로, 연구소에서 DMPO를 적용하여 성과를 본 사례입니다.
기존에 모니터링된 데이터를 분석하여, 각 변수들의 실질적인 공정변동과 연관된 Y(수율)의 영향도를 분석하여, 중요한 인자를 찾아내고, 모델링을 실시한 후 공정조건을 최적화하는 단계를 거쳤습니다.
최적조건에서의 Simulation Test 결과, 두 가지 품질 특성에 대하여 각각 33%P 및 13%P 의 수율 개선성과를 예측할 수 있었습니다.
요약한 내용을 첨부 드리오니 참고하시기 바랍니다.
이노밸류 배용섭
이노밸류_ DMPO 사례2 _ D화학회사의 수율 개선.pdf
